1、真空泵或真空机组的性能、选型出现问题：采用静态升压法，真空系统将被测空间抽至极限压力后，密封隔离，如果被测空间长时间一直保持在该极限压力不变，可以确定为是真空系统的工作性能达不到要求导致。需要从真空泵或者真空机组的选型性能以及是否有故障角度；

2、真空系统存在严重放气：如果在静态升压法测试中，被测空间在被抽至极限压力后并封闭隔离后，压力一开始上升较快，到一定程度后开始放缓并最终趋于稳定状态，可以判定真空系统中存在放气源，可能是结构材料或是某种蒸气源，需要通过材料结构以及真空卫生角度去解决

3、真空系统容器壁或其他间隙存在漏气：如果被测空间在测试中，出现压力稳定直线上升的情况，可以判定为真空系统存在漏气，需要通过检漏寻找漏源进行维修。