1、机床的原始制造误差：指由组成机床各部件工作表面的几何形状、表面质量、相互之间的位置误差所引起的机床运动误差，是数控机床几何误差产生的主要原因。

2、机床的控制系统误差：包括机床轴系的伺服误差轮廓跟随误差，数控插补算法误差。

3、 热变形误差：由于机床的内部热源和环境热扰动导致机床的结构热变形而产生的误差。

4、切削负荷造成工艺系统变形所导致的误差：包括机床、刀具、工件和夹具变形所导致的误差。这种误差又称为“让刀”，它造成加工零件的形状畸变，尤其当加工薄壁工件或使用细长刀具时，这一误差更为严重。

5、机床的振动误差：在切削加工时，数控机床由于工艺的柔性和工序的多变，其运行状态有更大的可能性落入不稳定区域，从而激起强烈的颤振。导致加工工件的表面质量恶化和几何形状误差。